Вакуумное оборудование

Вакуумные затворы

Вот уже более 40 лет компания HVA (США) производит вакуумные затворы высочайшего качества (до 2004 года компания называлась High Vacuum Apparatus). Отработанные технологии и современное производственное оборудование обеспечивают высокий уровень качества, а многолетний опыт собственных разработок в проектировании вакуумных затворов позволяет добиваться уникальных технических и эксплуатационных характеристик продукции HVA, недостижимых для конкурентов. Вакуумные затворы HVA успешно используются в полупроводниковой промышленности, установках для изготовления плоских дисплеев, системах выращивания кристаллов, нанесения покрытий, вакуумной металлургии и других областях, требовательных к качеству и характеристикам используемого оборудования.

Одной из ключевых характеристик продукции HVA является умеренная цена:Затвор вакуумный электропневматический HVA 11211-0603R из нержавеющей стали с фланцами ISO160 8 отв. болт. М10, соленоидом 24 В пост. тока и индикатором положения стоит 234840,00 руб. со склада в Москве.

Общие особенности всех вакуумных затворов HVA:

Вакуумные затворы остаются герметично закрытыми даже в случае проблем со сжатым воздухом или электропитанием - специальный замок надежно фиксирует положение затвора
Наименьшая площадь внутренних частей и механизмов среди вакуумных затворов всех производителей
Линейный привод внутри вакуумного затвора герметично изолирован сильфоном. Вибрация и удар в момент закрытия вакуумного затвора значительно меньше по сравнению с вакуумными затворами других производителей
Все внутренние механизмы легко извлекаются из корпуса вакуумных затворов без необходимости демонтировать затвор из вакуумного тракта, что обеспечивает легкость их сервисного обслуживания
Большой выбор типов приводов для всех типов затворов – ручной, электропневматический или электромеханический

Вакуумные затворы. Аналоги затворов VAT (12136-PA03, 12138-PA03, 12140-PA03, 12144-PA03, 12136-PA44, 12138-PA44, 12140-PA44, 12144-PA44, 12146-PA44, 12148-PA44, 12150-PA44) и звэ (2звэ-100, 2звэ-160, 2звэ-200, 2звэ-250).

Стандартные вакуумные затворы HVA серий 11000 и 21200

Стандартные вакуумные затворы серий 11000 и 21200

Любые типы фланцев или их комбинации с Ду от 16 до 1250 мм
Все металлические элементы затвора выполнены из нержавеющей стали
Высокая надежность – ресурс работы 100000 циклов открытия/закрытия (серия 11000) или 1млн. циклов открытия/закрытия (серия 21200)
Уровень вакуума – до 10^-10 мбар
Низкий уровень натекания – 2*10^-10 мбар*л/с
Температура прогрева корпуса затвора без соленоида – до +250 °С
Допустимый перепад давления при открытии – 30 мбар

Допустимый перепад давления в закрытом состоянии – 1 бар в любом направлении

Алюминиевый вакуумный затвор HVA серии 81000

Алюминиевые вакуумные затворы из серии 81000

Стандартная надежная конструкция обеспечивает отличные характеристики и невысокую стоимость
Части затвора вытачиваются из цельных алюминиевых блоков, что позволяет существенно снизить вероятность появления микротечей
Высокая надежность – ресурс работы до 400000 циклов открытия/закрытия
Уровень вакуума – до 10^-7 мбар
Низкий уровень натекания – 2*10^-9 мбар*л/с
Температура прогрева корпуса затвора без соленоида – до +120 °С
Допустимый перепад давления при открытии – 30 мбар
Допустимый перепад давления в закрытом состоянии – 1,6 бар в любом направлении

Вакуумные затворы HVA серии 71000 для агрессивных приложений

Вакуумные затворы серии 71000 для агрессивных приложений

Уникальная конструкция обеспечивает высочайшую надежность в самых тяжелых условиях эксплуатации – при откачке агрессивных газов, содержащих твердые абразивные частицы, осаждающиеся и конденсирующиеся вещества, высоких перепадах давления и т. п.
Увеличенная безопасность – надежная конструкция двойного защитного экрана
Необслуживаемые сильфоны – сильфон изолирован от среды техпроцесса
Уменьшенное время простоя – лёгкость чистки и замены уплотнителей
Допустимый перепад давления при открытии – 1 бар
Допустимый перепад давления в закрытом состоянии – 7 бар в любом направлении
Уровень вакуума – до 10^-9 мбар
Низкий уровень натекания – менее 1*10^-9 мбар*л/с
Температура прогрева корпуса затвора без соленоида – до +150 °С
Высокая надежность – ресурс работы более 250000 циклов открытия/закрытия

Вакуумные ручные затворы

Общий вид вакуумного ручного затвора HVA 11110-0063R из нержавеющей стали с фланцами KF16 (аналог VAT 01224-KA06)

Затвор вакуумный ручной HVA 11110-0063R из нержавеющей стали с фланцами KF16

Вакуумный ручной затвор HVA 11110-0063R из нержавеющей стали с фланцами KF16

Вакуумные затворы

Вакуумные ручные затворы

Вакуумные электропневматические затворы