Вакуумный узел вращения на фланце CF2,75'' (CF40) с двигателем постоянного тока 24 В и регулируемой скоростью вращения до 500 об./мин.
Законченный компонент в сборе (plug-n-play). Может использоваться для обеспечения вращения подложкодержателя в вакуумной камере.
Фланец для присоединения к вакуумной камере может быть любым по заказу.